4”-8”晶圆适用可处理薄晶圆晶圆料篮装卸料胶膜贴覆前机内预切割防静电滚轮贴膜高精度晶圆贴膜晶圆智能料篮内测绘长寿命切割刀片设计自由晶圆胶膜贴覆工控机+Windows系统SECS/GEM 或简易联网能力.....

4”-8”晶圆适用可处理薄晶圆晶圆料篮装卸料机械手撕膜技术晶圆智能料篮内测绘可选嵌入式LED紫外线照射模块自由晶圆胶膜撕膜无需任何易耗品工控机+Windows系统SECS/GEM 或简易联网能力.....

4”-8”晶圆适用可处理薄晶圆晶圆料篮装卸料贝努利晶圆搬运技术真空覆膜技术可选高温覆膜双层隔离纸收卷能力蓝膜、紫外线胶膜、光刻膜、背封膜等可选晶圆智能料篮内测绘非接触晶圆校正工控机+Windows系统SECS/GEM 或简易联网能力.....

8”-12”晶圆适用防静电滚轮贴膜可选贝努利晶圆搬运技术配置12” 装卸料坞晶圆智能料篮内测绘非接触晶圆校正蓝膜、紫外线胶膜可选工控机+Windows系统SECS/GEM 或简易联网能力.....

全自动贴膜撕膜单独贴膜或撕膜同步贴膜撕膜配置双臂晶圆机械手贝努利晶圆搬运技术晶圆智能料篮内测绘非接触晶圆校正蓝膜、紫外线胶膜可选工控机+Windows系统SECS/GEM 或简易联网能力.....

4”-8”/8”-12”晶圆适用可处理薄晶圆手动晶圆装卸料机械手撕膜技术自由晶圆胶膜撕膜无需任何易耗品基于PLC 的程序控制.....

4”-8”/8”-12”晶圆适用防静电滚轮贴膜自动胶膜传送及贴覆手动晶圆装卸料蓝膜、紫外线胶膜可选晶圆边沿无飞边切割技术基于PLC 的程序控制 .....

4”-8”晶圆适用可处理薄晶圆真空热压键合晶圆料篮装卸料自动支撑晶圆、产品晶圆对准自动晶圆键合晶圆智能料篮内测绘可选晶圆键合后在线测量工控机+Windows系统SECS/GEM 或简易联网能力.....

4”-8”晶圆适用可处理薄晶圆晶圆料篮装卸料自动已键合晶圆对准热拆解键合晶圆键合胶膜机械手自动撕除自动晶圆切割膜贴覆晶圆智能料篮内测绘可选嵌入式LED紫外线照射模块工控机+Windows系统SECS/GEM 或简易联网能力.....

4”-8” / 8”-12”晶圆适用全自动切割膜贴膜全自动减薄膜撕膜超薄晶圆处理能力配置可翻转晶圆机械手贝努利晶圆搬运技术晶圆智能料篮内测绘可选晶圆料盒直接上料非接触晶圆校正蓝膜、紫外线胶膜、预切割膜可选工控机+Windows系统SECS/GEM 或简易联网能力与减薄抛光机自由联机能力.....